Werkstoffe der Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. A. Ludwig

Am Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik werden neue multifunktionale Werkstoffe für miniaturisierte technische Produkte mit den Methoden der kombinatorischen Materialforschung entwickelt. Dazu werden mit speziellen Beschichtungsprozessen Materialbibliotheken hergestellt und mit automatisierten Hochdurchsatz-Methoden charakterisiert. Die gewonnenen Informationen werden in Form von Zusammensetzung-Struktur-Funktionsdiagrammen visualisiert. Zu den wichtigsten Forschungsthemen zählen Schichtsysteme für die Mikrosystemtechnik (ferromagnetische Schichten, Formgedächtnisschichten) und Materialien für Energiesysteme der Zukunft (Wasserstoffwirtschaft). Weiterhin ist die Nutzung von Mikrosystemen für die Werkstoffforschung Gegenstand der Forschung sowie die Übertragung von Ergebnissen des Dünnschichtscreenings auf makroskopische Ingenieurwerkstoffe.

Weitere Informationen Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik
Forschen und Leben am Institut
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